| chip_io |
| ---------------------------------------- |
| Metal5 width < 1.6um (met5.1) |
| ---------------------------------------- |
| 105.000 205.000 105.015 205.600 |
| 105.015 205.000 106.615 205.600 |
| 201.000 105.015 201.600 106.615 |
| 201.000 105.000 201.600 105.015 |
| 105.000 427.000 105.015 427.600 |
| 105.015 427.000 106.615 427.600 |
| 105.000 878.000 105.015 878.600 |
| 105.015 878.000 106.615 878.600 |
| 105.000 650.000 105.015 650.600 |
| 105.015 650.000 106.615 650.600 |
| 105.000 1106.000 105.015 1106.600 |
| 105.015 1106.000 106.615 1106.600 |
| 105.000 1561.000 105.015 1561.600 |
| 105.015 1561.000 106.615 1561.600 |
| 105.000 1333.000 105.015 1333.600 |
| 105.015 1333.000 106.615 1333.600 |
| 105.000 1789.000 105.015 1789.600 |
| 105.015 1789.000 106.615 1789.600 |
| 105.000 2017.000 105.015 2017.600 |
| 105.015 2017.000 106.615 2017.600 |
| 105.000 2462.000 105.015 2462.600 |
| 105.015 2462.000 106.615 2462.600 |
| 105.000 2239.000 105.015 2239.600 |
| 105.015 2239.000 106.615 2239.600 |
| 105.000 2690.000 105.015 2690.600 |
| 105.015 2690.000 106.615 2690.600 |
| 105.000 2918.000 105.015 2918.600 |
| 105.015 2918.000 106.615 2918.600 |
| 105.000 3373.000 105.015 3373.600 |
| 105.015 3373.000 106.615 3373.600 |
| 105.000 3146.000 105.015 3146.600 |
| 105.015 3146.000 106.615 3146.600 |
| 105.000 3601.000 105.015 3601.600 |
| 105.015 3601.000 106.615 3601.600 |
| 105.000 4057.000 105.015 4057.600 |
| 105.015 4057.000 106.615 4057.600 |
| 105.000 3829.000 105.015 3829.600 |
| 105.015 3829.000 106.615 3829.600 |
| 105.000 4279.000 105.015 4279.600 |
| 105.015 4279.000 106.615 4279.600 |
| 105.000 4502.000 105.015 4502.600 |
| 105.015 4502.000 106.615 4502.600 |
| 105.000 4953.000 105.015 4953.600 |
| 105.015 4953.000 106.615 4953.600 |
| 105.000 4725.000 105.015 4725.600 |
| 105.015 4725.000 106.615 4725.600 |
| 205.000 5194.985 205.600 5195.000 |
| 437.000 105.015 437.600 106.615 |
| 437.000 105.000 437.600 105.015 |
| 364.000 5194.985 364.600 5195.000 |
| 445.000 5194.985 445.600 5195.000 |
| 674.000 105.015 674.600 129.965 |
| 674.000 105.000 674.600 105.015 |
| 916.000 105.015 916.600 106.615 |
| 916.000 105.000 916.600 105.015 |
| 686.000 5194.985 686.600 5195.000 |
| 845.000 5194.985 845.600 5195.000 |
| 926.000 5194.985 926.600 5195.000 |
| 1153.000 105.015 1153.600 106.615 |
| 1153.000 105.000 1153.600 105.015 |
| 1167.000 5194.985 1167.600 5195.000 |
| 1394.000 105.015 1394.600 106.615 |
| 1394.000 105.000 1394.600 105.015 |
| 1326.000 5194.985 1326.600 5195.000 |
| 1407.000 5194.985 1407.600 5195.000 |
| 1636.000 105.015 1636.600 106.615 |
| 1636.000 105.000 1636.600 105.015 |
| 1878.000 105.015 1878.600 106.615 |
| 1878.000 105.000 1878.600 105.015 |
| 1643.000 5194.985 1643.600 5195.000 |
| 1802.000 5194.985 1802.600 5195.000 |
| 1883.000 5194.985 1883.600 5195.000 |
| 2120.000 105.015 2120.600 106.615 |
| 2120.000 105.000 2120.600 105.015 |
| 2124.000 5194.985 2124.600 5195.000 |
| 2361.000 105.015 2361.600 106.615 |
| 2361.000 105.000 2361.600 105.015 |
| 2283.000 5194.985 2283.600 5195.000 |
| 2364.000 5194.985 2364.600 5195.000 |
| 2598.000 105.015 2598.600 106.615 |
| 2598.000 105.000 2598.600 105.015 |
| 2600.000 5194.985 2600.600 5195.000 |
| 2759.000 5194.985 2759.600 5195.000 |
| 3093.385 201.000 3095.000 201.600 |
| 2835.000 105.015 2835.600 106.615 |
| 2835.000 105.000 2835.600 105.015 |
| 3093.385 439.000 3095.000 439.600 |
| 3093.385 915.000 3095.000 915.600 |
| 3093.385 677.000 3095.000 677.600 |
| 3093.385 1153.000 3095.000 1153.600 |
| 3093.385 1391.000 3095.000 1391.600 |
| 3093.385 1868.000 3095.000 1868.600 |
| 3093.385 1629.000 3095.000 1629.600 |
| 3093.385 2101.000 3095.000 2101.600 |
| 3093.385 2334.000 3095.000 2334.600 |
| 3093.385 2805.000 3095.000 2805.600 |
| 3093.385 2567.000 3095.000 2567.600 |
| 3093.385 3043.000 3095.000 3043.600 |
| 3093.385 3281.000 3095.000 3281.600 |
| 3093.385 3758.000 3095.000 3758.600 |
| 3093.385 3520.000 3095.000 3520.600 |
| 3093.385 3996.000 3095.000 3996.600 |
| 3093.385 4229.000 3095.000 4229.600 |
| 3093.385 4700.000 3095.000 4700.600 |
| 3093.385 4467.000 3095.000 4467.600 |
| 3093.385 4938.000 3095.000 4938.600 |
| 2840.000 5194.985 2840.600 5195.000 |
| ---------------------------------------- |
| Metal2 spacing < 0.14um (met2.2) |
| ---------------------------------------- |
| 662.180 196.235 662.305 196.305 |
| 662.180 196.215 662.320 196.235 |
| 658.115 196.165 658.125 196.205 |
| 662.180 196.425 662.320 196.445 |
| 662.180 196.355 662.445 196.425 |
| 662.320 196.305 662.445 196.355 |
| 657.755 196.305 657.895 196.345 |
| 657.755 196.205 657.895 196.305 |
| 657.615 196.165 657.755 196.205 |
| 657.615 196.065 657.755 196.165 |
| 657.615 196.165 657.755 196.205 |
| 657.615 196.065 657.855 196.165 |
| 658.125 196.205 658.225 196.305 |
| 658.115 196.305 658.265 196.345 |
| 658.125 196.205 658.225 196.305 |
| 657.985 196.205 658.115 196.305 |
| 657.985 196.165 658.125 196.205 |
| 657.985 196.065 658.125 196.165 |
| 657.985 196.165 658.125 196.205 |
| 657.985 196.065 658.125 196.165 |
| 662.305 196.425 662.320 196.445 |
| 662.305 196.355 662.445 196.425 |
| 662.320 196.235 662.445 196.355 |
| 662.305 196.355 662.320 196.375 |
| 662.180 196.235 662.305 196.305 |
| 657.755 196.305 657.895 196.345 |
| 657.755 196.205 657.895 196.305 |
| 657.855 196.165 657.895 196.205 |
| 657.755 196.205 657.855 196.305 |
| 657.715 196.165 657.755 196.205 |
| 657.755 195.885 657.855 195.935 |
| 658.125 196.305 658.265 196.345 |
| 658.125 196.205 658.225 196.305 |
| 662.305 195.955 662.625 196.070 |
| 662.650 195.955 662.790 196.095 |
| 662.650 195.955 662.790 196.095 |
| 662.510 196.095 662.650 196.235 |
| 662.305 195.955 662.445 196.070 |
| 662.305 195.930 662.445 195.955 |
| 662.305 195.955 662.445 196.070 |
| 662.305 195.930 662.445 195.955 |
| 662.165 196.095 662.650 196.210 |
| 662.165 196.070 662.305 196.095 |
| 662.650 196.070 662.765 196.095 |
| 657.855 195.935 657.895 196.025 |
| 657.755 196.025 657.995 196.075 |
| 657.855 195.935 657.995 196.025 |
| 657.715 195.935 657.755 196.025 |
| 657.715 195.795 657.855 195.935 |
| 657.715 195.795 657.855 195.935 |
| 657.855 196.025 657.995 196.075 |
| 657.855 195.935 657.995 196.025 |
| 662.165 196.095 662.305 196.210 |
| 662.165 196.070 662.305 196.095 |
| 662.625 196.095 662.650 196.210 |
| 662.650 195.955 662.765 196.095 |
| 662.510 195.955 662.625 196.070 |
| 662.510 196.095 662.650 196.235 |
| 662.625 195.675 662.650 195.750 |
| 662.625 195.675 662.765 195.750 |
| 662.625 195.610 662.765 195.675 |
| 662.650 195.750 662.765 195.815 |
| 662.625 195.675 662.765 195.750 |
| 662.625 195.610 662.765 195.675 |
| 662.485 195.815 662.650 195.890 |
| 662.485 195.750 662.625 195.815 |
| 662.510 195.750 662.625 195.815 |
| 662.995 195.675 663.135 195.750 |
| 662.955 195.610 663.135 195.675 |
| 662.995 195.675 663.135 195.750 |
| 662.995 195.610 663.135 195.675 |
| 662.855 195.815 662.995 195.890 |
| 662.855 195.750 662.995 195.815 |
| 643.880 195.195 644.020 195.240 |
| 643.880 195.100 644.020 195.195 |
| 644.235 195.195 650.340 195.245 |
| 644.250 195.175 644.345 195.195 |
| 650.640 195.195 657.115 195.245 |
| 644.235 195.315 650.340 195.385 |
| 650.640 195.315 657.115 195.385 |
| 662.485 195.815 662.625 195.890 |
| 662.485 195.750 662.625 195.815 |
| 662.995 195.675 663.095 195.750 |
| 662.955 195.750 662.995 195.815 |
| 662.855 195.815 662.995 195.890 |
| 662.855 195.750 662.995 195.815 |
| 662.855 195.675 662.955 195.750 |
| 663.005 195.280 663.095 195.420 |
| 663.005 195.280 663.095 195.425 |
| 644.235 195.055 644.250 195.100 |
| 643.740 195.055 643.880 195.100 |
| 643.740 194.960 643.880 195.055 |
| 643.740 195.055 643.880 195.100 |
| 643.740 194.960 643.920 195.055 |
| 644.250 195.100 644.345 195.195 |
| 644.235 195.195 644.390 195.240 |
| 644.250 195.100 644.345 195.195 |
| 644.110 195.100 644.235 195.195 |
| 644.110 195.055 644.250 195.100 |
| 644.110 194.960 644.250 195.055 |
| 644.110 195.055 644.250 195.100 |
| 644.110 194.960 644.250 195.055 |
| 643.880 195.195 644.020 195.240 |
| 643.880 195.100 644.020 195.195 |
| 643.920 195.055 644.020 195.100 |
| 643.880 195.100 643.920 195.195 |
| 643.780 195.055 643.880 195.100 |
| 643.550 194.845 643.690 194.910 |
| 643.550 194.770 643.690 194.845 |
| 643.880 194.705 643.920 194.770 |
| 644.250 195.195 644.390 195.240 |
| 644.250 195.100 644.345 195.195 |
| 643.420 194.640 643.550 194.770 |
| 643.420 194.630 643.550 194.640 |
| 643.420 194.640 643.550 194.770 |
| 643.420 194.630 643.680 194.640 |
| 643.920 194.770 644.020 194.845 |
| 643.880 194.845 644.060 194.910 |
| 643.920 194.770 644.060 194.845 |
| 643.780 194.770 643.880 194.845 |
| 643.780 194.640 643.920 194.770 |
| 643.780 194.630 643.920 194.640 |
| 643.780 194.640 643.920 194.770 |
| 643.780 194.630 643.920 194.640 |
| 643.550 194.845 643.690 194.910 |
| 643.550 194.770 643.690 194.845 |
| 643.680 194.640 643.690 194.770 |
| 643.550 194.770 643.680 194.780 |
| 643.540 194.640 643.550 194.770 |
| 643.920 194.845 644.060 194.910 |
| 643.920 194.770 644.060 194.845 |
| 643.420 188.775 643.600 188.835 |
| 643.420 188.915 643.680 188.975 |
| 643.600 188.835 643.680 188.915 |
| 643.460 188.695 643.600 188.835 |
| 643.460 188.695 643.600 188.835 |
| 662.865 195.420 662.955 195.425 |
| 663.005 190.750 663.035 190.800 |
| 662.665 190.890 662.805 190.940 |
| 662.665 190.800 662.805 190.890 |
| 662.525 190.750 662.665 190.800 |
| 662.525 190.680 662.665 190.750 |
| 662.525 190.660 662.665 190.680 |
| 662.525 190.750 662.665 190.800 |
| 662.525 190.680 662.835 190.750 |
| 662.525 190.660 662.665 190.680 |
| 663.035 190.800 663.145 190.890 |
| 663.005 190.890 663.175 190.940 |
| 663.035 190.800 663.175 190.890 |
| 662.895 190.800 663.005 190.890 |
| 662.895 190.750 663.035 190.800 |
| 662.895 190.680 663.035 190.750 |
| 662.895 190.660 663.035 190.680 |
| 662.895 190.750 663.035 190.800 |
| 662.895 190.680 663.035 190.750 |
| 662.895 190.660 663.035 190.680 |
| 662.465 190.680 662.605 190.740 |
| 662.465 190.600 662.605 190.680 |
| 662.665 190.890 662.805 190.940 |
| 662.665 190.800 662.805 190.890 |
| 662.665 190.800 662.835 190.890 |
| 662.665 190.540 662.835 190.600 |
| 662.325 190.540 662.465 190.600 |
| 662.325 190.460 662.465 190.540 |
| 662.325 190.540 662.465 190.600 |
| 662.325 190.460 662.505 190.540 |
| 662.665 190.680 662.975 190.740 |
| 662.835 190.600 662.975 190.680 |
| 662.695 190.540 662.835 190.600 |
| 662.695 190.460 662.835 190.540 |
| 662.695 190.540 662.835 190.600 |
| 662.695 190.460 662.835 190.540 |
| 663.035 190.890 663.175 190.940 |
| 663.035 190.800 663.175 190.890 |
| 643.600 188.915 643.680 188.975 |
| 643.600 188.835 643.680 188.915 |
| 662.465 190.680 662.605 190.740 |
| 662.465 190.600 662.605 190.680 |
| 662.505 190.540 662.605 190.600 |
| 662.465 190.600 662.505 190.680 |
| 662.365 190.540 662.465 190.600 |
| 662.465 190.260 662.505 190.270 |
| 662.835 190.680 662.975 190.740 |
| 662.835 190.600 662.975 190.680 |
| 662.505 190.270 662.605 190.400 |
| 662.465 190.400 662.645 190.410 |
| 662.505 190.270 662.645 190.400 |
| 662.365 190.270 662.465 190.400 |
| 662.365 190.130 662.505 190.270 |
| 662.365 190.130 662.505 190.270 |
| 642.970 183.965 643.005 184.020 |
| 643.005 184.020 643.110 184.105 |
| 642.970 184.105 643.145 184.160 |
| 643.005 184.020 643.145 184.105 |
| 642.865 184.020 642.970 184.105 |
| 642.865 183.880 643.005 184.020 |
| 642.865 183.880 643.005 184.020 |
| 643.005 184.105 643.145 184.160 |
| 643.005 184.020 643.145 184.105 |
| 662.505 190.400 662.645 190.410 |
| 662.505 190.270 662.645 190.400 |
| 662.090 171.715 662.350 171.850 |
| 662.090 171.855 662.350 171.990 |
| 661.730 168.770 661.870 168.910 |
| 661.590 168.735 661.730 168.770 |
| 661.590 168.665 661.730 168.735 |
| 661.590 168.630 661.730 168.665 |
| 661.590 168.735 661.730 168.770 |
| 661.590 168.665 661.875 168.735 |
| 661.590 168.630 661.730 168.665 |
| 661.505 168.665 661.645 168.685 |
| 661.505 168.545 661.645 168.665 |
| 661.730 168.770 661.870 168.910 |
| 661.730 168.770 661.875 168.875 |
| 661.740 168.525 661.875 168.545 |
| 661.480 168.520 661.505 168.545 |
| 661.480 168.410 661.505 168.520 |
| 661.480 168.405 661.505 168.410 |
| 661.480 168.520 661.505 168.545 |
| 661.740 168.520 661.870 168.545 |
| 661.480 168.410 661.870 168.520 |
| 661.480 168.405 661.740 168.410 |
| 661.740 168.520 661.870 168.545 |
| 661.730 168.410 661.870 168.520 |
| 661.730 168.405 661.740 168.410 |
| 661.600 168.665 662.015 168.685 |
| 661.600 168.545 661.730 168.665 |
| 661.875 168.545 662.015 168.665 |
| 661.740 168.520 661.875 168.545 |
| 661.735 168.410 661.875 168.520 |
| 661.740 168.520 661.875 168.545 |
| 661.735 168.410 661.875 168.520 |
| 661.505 168.665 661.645 168.685 |
| 661.505 168.545 661.645 168.665 |
| 661.505 168.545 661.730 168.660 |
| 661.600 168.665 661.740 168.685 |
| 661.600 168.545 661.730 168.665 |
| 661.875 168.665 662.015 168.685 |
| 661.875 168.545 662.015 168.665 |
| ---------------------------------------- |
| Min area of metal2 holes > 0.14um^2 (met2.7) |
| ---------------------------------------- |
| 662.180 196.305 662.320 196.355 |
| 658.115 196.205 658.125 196.305 |
| 662.305 196.235 662.320 196.305 |
| 657.755 196.165 657.855 196.205 |
| 662.305 196.070 662.650 196.095 |
| 657.755 195.935 657.855 196.025 |
| 662.625 195.955 662.650 196.070 |
| 662.625 195.750 662.650 195.815 |
| 662.955 195.675 662.995 195.750 |
| 644.235 195.100 644.250 195.195 |
| 643.880 195.055 643.920 195.100 |
| 643.880 194.770 643.920 194.845 |
| 643.550 194.640 643.680 194.770 |
| 663.005 190.800 663.035 190.890 |
| 662.665 190.750 662.835 190.800 |
| 662.665 190.600 662.835 190.680 |
| 662.465 190.540 662.505 190.600 |
| 662.465 190.270 662.505 190.400 |
| 643.420 188.835 643.600 188.915 |
| 642.970 184.020 643.005 184.105 |
| 661.730 168.735 661.875 168.770 |
| 661.730 168.545 661.875 168.665 |
| 661.505 168.520 661.740 168.545 |
| ---------------------------------------- |
| Metal3 spacing < 0.3um (met3.2) |
| ---------------------------------------- |
| 599.740 149.780 600.810 150.015 |
| 599.740 150.080 600.810 150.315 |
| 602.410 131.950 603.695 132.200 |
| 602.410 131.950 602.710 132.200 |
| 602.410 131.900 602.710 131.950 |
| 602.410 131.950 602.710 132.200 |
| 602.410 131.900 602.710 131.950 |
| 602.110 132.400 603.810 132.500 |
| 602.110 132.250 603.995 132.400 |
| 602.110 132.200 602.410 132.250 |
| 603.810 132.200 603.995 132.250 |
| 602.110 132.400 602.410 132.500 |
| 602.110 132.250 602.410 132.400 |
| 602.110 132.200 602.410 132.250 |
| 603.695 132.400 603.810 132.500 |
| 603.695 132.250 603.995 132.400 |
| 603.810 131.950 603.995 132.250 |
| 603.510 131.950 603.695 132.200 |
| 604.745 131.200 605.045 131.465 |
| 604.710 131.165 605.045 131.200 |
| 604.745 131.200 605.045 131.465 |
| 604.745 131.165 605.045 131.200 |
| 604.445 131.465 604.745 131.765 |
| 604.745 131.200 605.010 131.350 |
| 603.695 131.050 605.010 131.200 |
| 604.745 131.200 605.010 131.465 |
| 604.710 131.050 605.010 131.200 |
| 603.695 131.465 604.745 131.500 |
| 603.695 131.350 604.710 131.465 |
| 604.445 131.465 604.745 131.765 |
| 604.445 131.350 604.710 131.465 |
| 603.695 130.900 604.645 130.915 |
| 603.695 130.750 604.745 130.900 |
| 603.695 130.900 603.995 130.915 |
| 603.695 130.615 603.995 130.900 |
| 603.695 130.900 603.995 130.915 |
| 603.695 130.615 603.995 130.900 |
| 603.395 131.200 603.695 131.215 |
| 603.395 131.050 604.945 131.200 |
| 603.395 130.915 603.695 131.050 |
| 604.745 130.915 604.945 131.050 |
| 603.395 131.200 603.695 131.215 |
| 603.395 131.050 603.695 131.200 |
| 603.395 130.915 603.695 131.050 |
| 604.645 131.050 604.945 131.200 |
| 604.745 130.900 604.945 131.050 |
| 604.645 131.050 604.745 131.200 |
| 604.445 130.900 604.645 130.915 |
| 604.645 130.150 605.610 130.300 |
| 604.645 130.450 605.610 130.600 |
| 604.645 129.700 605.610 129.965 |
| 604.645 129.665 604.945 129.965 |
| 604.645 129.665 604.945 129.965 |
| 604.345 130.000 605.610 130.265 |
| 604.345 129.965 604.645 130.000 |
| 604.345 130.000 604.645 130.265 |
| 604.345 129.965 604.645 130.000 |
| 605.610 128.800 606.820 129.000 |
| 605.610 128.800 605.910 129.000 |
| 605.610 128.700 605.910 128.800 |
| 605.610 128.800 605.910 129.000 |
| 605.610 128.700 605.910 128.800 |
| 605.310 129.250 606.960 129.300 |
| 605.310 129.100 607.120 129.250 |
| 605.310 129.000 605.610 129.100 |
| 606.960 129.000 607.120 129.100 |
| 605.310 129.250 605.610 129.300 |
| 605.310 129.100 605.610 129.250 |
| 605.310 129.000 605.610 129.100 |
| 606.820 129.250 606.960 129.300 |
| 606.820 129.100 607.120 129.250 |
| 606.960 128.800 607.120 129.100 |
| 606.660 128.800 606.820 129.000 |
| 606.820 127.620 606.840 127.790 |
| 606.820 127.600 607.120 127.790 |
| 607.010 127.490 607.120 127.600 |
| 606.840 127.790 607.120 127.920 |
| 606.820 127.600 607.120 127.790 |
| 607.010 127.490 607.120 127.600 |
| 606.520 127.920 606.840 128.090 |
| 606.520 127.790 606.820 127.920 |
| 606.540 127.790 606.820 127.920 |
| 606.520 127.920 606.820 128.090 |
| 606.520 127.790 606.820 127.920 |
| 651.775 191.800 651.940 191.865 |
| 650.310 192.100 650.610 192.165 |
| 650.310 191.865 650.610 192.100 |
| 650.030 191.585 650.310 191.865 |
| 650.095 191.565 650.310 191.585 |
| 650.030 191.585 650.310 191.865 |
| 650.095 191.565 651.660 191.585 |
| 651.940 191.865 652.075 192.100 |
| 651.775 192.100 652.240 192.165 |
| 651.940 191.865 652.240 192.100 |
| 651.640 191.865 651.775 192.100 |
| 651.660 191.585 651.940 191.865 |
| 651.660 191.585 651.940 191.865 |
| 650.030 191.585 650.310 191.865 |
| 649.730 191.500 650.030 191.585 |
| 649.730 191.285 650.030 191.500 |
| 649.730 191.500 650.030 191.585 |
| 649.730 191.285 650.095 191.500 |
| 650.310 192.100 650.610 192.165 |
| 650.310 191.865 650.610 192.100 |
| 650.310 191.865 651.775 191.885 |
| 651.660 191.585 651.940 191.865 |
| 651.360 191.500 651.660 191.585 |
| 651.360 191.285 651.660 191.500 |
| 651.360 191.500 651.660 191.585 |
| 651.360 191.285 651.660 191.500 |
| 651.940 192.100 652.240 192.165 |
| 651.940 191.865 652.240 192.100 |
| 644.365 189.555 644.665 189.855 |
| 644.365 189.555 644.665 189.855 |
| 644.065 189.855 644.365 190.155 |
| 644.365 189.555 644.400 189.855 |
| 644.065 189.855 644.365 190.155 |
| 644.065 189.555 644.100 189.855 |
| 650.030 191.585 650.310 191.865 |
| 650.095 191.500 650.330 191.585 |
| 650.030 191.585 650.095 191.800 |
| 649.795 191.500 650.030 191.585 |
| 650.030 190.300 650.095 190.505 |
| 651.660 191.865 651.775 191.885 |
| 651.660 191.585 651.940 191.865 |
| 650.095 190.505 650.330 190.600 |
| 650.030 190.600 650.095 190.805 |
| 649.795 190.505 650.030 190.600 |
| 664.810 183.705 665.110 184.005 |
| 664.810 183.705 665.110 184.005 |
| 664.510 184.215 664.600 184.305 |
| 664.510 184.005 664.810 184.215 |
| 664.810 183.705 664.970 184.005 |
| 664.510 184.215 664.600 184.305 |
| 664.510 184.005 664.810 184.215 |
| 664.510 183.705 664.670 184.005 |
| 664.670 183.255 665.130 183.415 |
| 665.260 183.255 665.560 183.555 |
| 665.260 183.255 665.560 183.555 |
| 664.960 183.705 665.260 183.855 |
| 664.960 183.555 665.260 183.705 |
| 664.670 183.255 664.970 183.415 |
| 664.670 183.115 664.970 183.255 |
| 664.670 183.255 664.970 183.415 |
| 664.670 183.115 664.970 183.255 |
| 664.370 183.705 664.670 183.715 |
| 664.810 183.705 665.260 183.715 |
| 664.370 183.555 665.260 183.705 |
| 664.370 183.415 664.670 183.555 |
| 665.260 183.415 665.430 183.555 |
| 664.370 183.705 664.670 183.715 |
| 664.370 183.555 664.670 183.705 |
| 664.370 183.415 664.670 183.555 |
| 665.130 183.705 665.260 183.715 |
| 665.130 183.555 665.260 183.705 |
| 665.260 183.255 665.430 183.555 |
| 664.960 183.255 665.130 183.415 |
| 664.960 183.705 665.260 183.855 |
| 664.960 183.555 665.260 183.705 |
| 665.710 182.655 666.005 182.955 |
| 665.410 182.655 665.705 182.955 |
| 665.120 168.345 665.420 168.420 |
| 665.120 168.120 665.420 168.345 |
| 665.705 168.045 665.850 168.120 |
| 664.820 168.045 665.120 168.120 |
| 664.820 167.820 665.120 168.045 |
| 664.820 168.045 665.120 168.120 |
| 664.820 167.820 665.135 168.045 |
| 665.850 168.120 666.005 168.345 |
| 665.705 168.345 666.150 168.420 |
| 665.850 168.120 666.150 168.345 |
| 665.550 168.120 665.705 168.345 |
| 665.550 168.045 665.850 168.120 |
| 665.550 167.820 665.850 168.045 |
| 665.550 168.045 665.850 168.120 |
| 665.550 167.820 665.850 168.045 |
| 665.120 168.345 665.420 168.420 |
| 665.120 168.120 665.420 168.345 |
| 665.135 168.045 665.420 168.120 |
| 665.120 168.120 665.135 168.345 |
| 664.835 168.045 665.120 168.120 |
| 664.405 167.595 664.705 167.705 |
| 664.405 167.405 664.705 167.595 |
| 665.120 167.295 665.135 167.405 |
| 665.850 168.345 666.150 168.420 |
| 665.850 168.120 666.150 168.345 |
| 664.105 167.295 664.405 167.405 |
| 664.105 167.105 664.405 167.295 |
| 664.105 167.295 664.405 167.405 |
| 664.105 167.105 664.550 167.295 |
| 665.135 167.405 665.420 167.595 |
| 665.120 167.595 665.435 167.705 |
| 665.135 167.405 665.435 167.595 |
| 664.835 167.405 665.120 167.595 |
| 664.835 167.295 665.135 167.405 |
| 664.835 167.105 665.135 167.295 |
| 664.835 167.295 665.135 167.405 |
| 664.835 167.105 665.135 167.295 |
| 664.405 167.595 664.705 167.705 |
| 664.405 167.405 664.705 167.595 |
| 664.550 167.295 664.705 167.405 |
| 664.405 167.405 664.550 167.595 |
| 664.250 167.295 664.405 167.405 |
| 663.820 166.995 664.120 167.120 |
| 663.820 166.820 664.120 166.995 |
| 664.405 166.695 664.550 166.820 |
| 665.135 167.595 665.435 167.705 |
| 665.135 167.405 665.435 167.595 |
| 663.605 166.605 663.820 166.820 |
| 663.520 166.520 663.820 166.605 |
| 663.605 166.605 663.820 166.820 |
| 663.520 166.520 664.030 166.605 |
| 664.550 166.820 664.705 166.995 |
| 664.405 166.995 664.850 167.120 |
| 664.550 166.820 664.850 166.995 |
| 664.250 166.820 664.405 166.995 |
| 664.250 166.605 664.550 166.820 |
| 664.250 166.520 664.550 166.605 |
| 664.250 166.605 664.550 166.820 |
| 664.250 166.520 664.550 166.605 |
| 663.820 166.995 664.120 167.120 |
| 663.820 166.820 664.120 166.995 |
| 664.030 166.605 664.120 166.820 |
| 663.820 166.820 664.030 166.905 |
| 663.730 166.605 663.820 166.820 |
| 650.725 166.300 663.885 166.305 |
| 650.725 166.155 664.030 166.300 |
| 650.725 166.455 664.185 166.605 |
| 664.030 166.305 664.185 166.455 |
| 663.885 166.455 664.185 166.605 |
| 664.030 166.300 664.185 166.455 |
| 663.885 166.455 664.330 166.600 |
| 664.030 166.300 664.330 166.455 |
| 663.730 166.300 663.885 166.305 |
| 663.730 166.155 664.030 166.300 |
| 663.730 166.005 664.030 166.155 |
| 663.730 166.000 664.030 166.005 |
| 663.730 166.155 664.030 166.300 |
| 663.730 166.005 664.030 166.155 |
| 663.730 166.000 664.030 166.005 |
| 664.550 166.995 664.850 167.120 |
| 664.550 166.820 664.850 166.995 |
| 650.725 165.875 663.605 166.005 |
| 650.725 166.300 663.605 166.305 |
| 650.725 166.155 663.605 166.300 |
| 664.030 166.455 664.330 166.600 |
| 664.030 166.300 664.330 166.455 |
| ---------------------------------------- |
| Metal3 width < 0.3um (met3.1) |
| ---------------------------------------- |
| 602.410 132.200 602.710 132.250 |
| 603.810 132.400 604.110 132.550 |
| 604.745 131.465 605.045 131.765 |
| 603.695 131.200 604.745 131.350 |
| 603.695 131.200 603.995 131.215 |
| 603.695 130.915 603.995 131.050 |
| 605.610 130.600 605.910 130.750 |
| 604.645 129.965 604.945 130.000 |
| 605.610 129.000 605.910 129.100 |
| 606.960 129.250 607.260 129.400 |
| 606.820 127.790 606.840 127.920 |
| 606.820 127.790 606.840 127.900 |
| 650.010 191.985 650.310 192.165 |
| 650.010 191.865 650.310 191.985 |
| 651.775 191.865 651.940 192.100 |
| 650.310 191.585 650.330 191.865 |
| 649.730 191.865 650.095 191.885 |
| 649.730 191.585 650.030 191.865 |
| 651.775 191.865 651.940 192.100 |
| 651.940 191.585 651.960 191.865 |
| 651.775 191.865 651.940 191.885 |
| 651.360 191.585 651.660 191.865 |
| 644.365 189.855 644.665 190.155 |
| 650.095 191.865 650.310 191.885 |
| 650.310 191.585 650.395 191.865 |
| 664.600 184.215 664.810 184.305 |
| 664.810 184.215 665.110 184.305 |
| 664.810 184.005 665.110 184.215 |
| 664.670 183.705 664.810 183.855 |
| 664.670 183.705 664.810 183.715 |
| 664.670 183.415 664.970 183.555 |
| 665.260 183.555 665.560 183.855 |
| 665.710 183.105 666.010 183.255 |
| 665.705 182.655 665.710 182.680 |
| 664.820 168.120 665.120 168.420 |
| 665.705 168.120 665.850 168.345 |
| 664.105 167.405 664.405 167.705 |
| 665.120 167.405 665.135 167.595 |
| 663.520 167.005 663.820 167.120 |
| 663.520 166.820 663.820 167.005 |
| 664.405 166.820 664.550 166.995 |
| 663.820 166.605 663.905 166.820 |
| 650.725 166.605 663.605 166.755 |
| 663.820 166.605 664.030 166.755 |
| 663.730 166.305 664.030 166.455 |
| 663.885 166.300 664.030 166.305 |
| 650.725 166.305 663.605 166.455 |
| 663.605 166.305 663.905 166.455 |
| 650.725 166.005 663.605 166.155 |
| ---------------------------------------- |
| Metal5 spacing < 1.6um (met5.2) |
| ---------------------------------------- |
| 105.000 204.000 105.015 205.000 |
| 103.400 202.400 103.415 204.000 |
| 103.400 202.400 103.415 204.000 |
| 105.000 204.000 105.015 205.000 |
| 198.400 103.400 200.000 103.415 |
| 198.400 103.400 200.000 103.415 |
| 200.000 105.000 201.000 105.015 |
| 200.000 105.000 201.000 105.015 |
| 105.000 572.400 105.015 574.000 |
| 105.000 572.400 105.015 574.000 |
| 103.400 574.000 103.415 575.600 |
| 103.400 574.000 103.415 575.600 |
| 105.000 426.000 105.015 427.000 |
| 103.400 424.400 103.415 426.000 |
| 103.400 424.400 103.415 426.000 |
| 105.000 426.000 105.015 427.000 |
| 105.000 349.400 105.015 351.000 |
| 105.000 349.400 105.015 351.000 |
| 103.400 351.000 103.415 352.600 |
| 103.400 351.000 103.415 352.600 |
| 105.000 877.000 105.015 878.000 |
| 103.400 875.400 103.415 877.000 |
| 103.400 875.400 103.415 877.000 |
| 105.000 877.000 105.015 878.000 |
| 105.000 795.400 105.015 797.000 |
| 105.000 795.400 105.015 797.000 |
| 103.400 797.000 103.415 798.600 |
| 103.400 797.000 103.415 798.600 |
| 105.000 649.000 105.015 650.000 |
| 103.400 647.400 103.415 649.000 |
| 103.400 647.400 103.415 649.000 |
| 105.000 649.000 105.015 650.000 |
| 105.000 1250.400 105.015 1252.000 |
| 105.000 1250.400 105.015 1252.000 |
| 103.400 1252.000 103.415 1253.600 |
| 103.400 1252.000 103.415 1253.600 |
| 105.000 1105.000 105.015 1106.000 |
| 103.400 1103.400 103.415 1105.000 |
| 103.400 1103.400 103.415 1105.000 |
| 105.000 1105.000 105.015 1106.000 |
| 105.000 1023.400 105.015 1025.000 |
| 105.000 1023.400 105.015 1025.000 |
| 103.400 1025.000 103.415 1026.600 |
| 103.400 1025.000 103.415 1026.600 |
| 105.000 1560.000 105.015 1561.000 |
| 103.400 1558.400 103.415 1560.000 |
| 103.400 1558.400 103.415 1560.000 |
| 105.000 1560.000 105.015 1561.000 |
| 105.000 1478.400 105.015 1480.000 |
| 105.000 1478.400 105.015 1480.000 |
| 103.400 1480.000 103.415 1481.600 |
| 103.400 1480.000 103.415 1481.600 |
| 105.000 1332.000 105.015 1333.000 |
| 103.400 1330.400 103.415 1332.000 |
| 103.400 1330.400 103.415 1332.000 |
| 105.000 1332.000 105.015 1333.000 |
| 105.000 1788.000 105.015 1789.000 |
| 103.400 1786.400 103.415 1788.000 |
| 103.400 1786.400 103.415 1788.000 |
| 105.000 1788.000 105.015 1789.000 |
| 105.000 1706.400 105.015 1708.000 |
| 105.000 1706.400 105.015 1708.000 |
| 103.400 1708.000 103.415 1709.600 |
| 103.400 1708.000 103.415 1709.600 |
| 105.000 2161.400 105.015 2163.000 |
| 105.000 2161.400 105.015 2163.000 |
| 103.400 2163.000 103.415 2164.600 |
| 103.400 2163.000 103.415 2164.600 |
| 105.000 2016.000 105.015 2017.000 |
| 103.400 2014.400 103.415 2016.000 |
| 103.400 2014.400 103.415 2016.000 |
| 105.000 2016.000 105.015 2017.000 |
| 105.000 1934.400 105.015 1936.000 |
| 105.000 1934.400 105.015 1936.000 |
| 103.400 1936.000 103.415 1937.600 |
| 103.400 1936.000 103.415 1937.600 |
| 105.000 2461.000 105.015 2462.000 |
| 103.400 2459.400 103.415 2461.000 |
| 103.400 2459.400 103.415 2461.000 |
| 105.000 2461.000 105.015 2462.000 |
| 105.000 2384.400 105.015 2386.000 |
| 105.000 2384.400 105.015 2386.000 |
| 103.400 2386.000 103.415 2387.600 |
| 103.400 2386.000 103.415 2387.600 |
| 105.000 2238.000 105.015 2239.000 |
| 103.400 2236.400 103.415 2238.000 |
| 103.400 2236.400 103.415 2238.000 |
| 105.000 2238.000 105.015 2239.000 |
| 105.000 2689.000 105.015 2690.000 |
| 103.400 2687.400 103.415 2689.000 |
| 103.400 2687.400 103.415 2689.000 |
| 105.000 2689.000 105.015 2690.000 |
| 105.000 2607.400 105.015 2609.000 |
| 105.000 2607.400 105.015 2609.000 |
| 103.400 2609.000 103.415 2610.600 |
| 103.400 2609.000 103.415 2610.600 |
| 105.000 3145.000 105.015 3145.600 |
| 103.400 3143.400 103.415 3145.000 |
| 103.400 3143.400 103.415 3145.000 |
| 105.000 3145.000 105.015 3145.600 |
| 105.000 3063.400 105.015 3065.000 |
| 105.000 3063.400 105.015 3065.000 |
| 103.400 3065.000 103.415 3066.600 |
| 103.400 3065.000 103.415 3066.600 |
| 105.000 2917.000 105.015 2918.000 |
| 103.400 2915.400 103.415 2917.000 |
| 103.400 2915.400 103.415 2917.000 |
| 105.000 2917.000 105.015 2918.000 |
| 105.000 2835.400 105.015 2837.000 |
| 105.000 2835.400 105.015 2837.000 |
| 103.400 2837.000 103.415 2838.600 |
| 103.400 2837.000 103.415 2838.600 |
| 105.000 3372.000 105.015 3373.000 |
| 103.400 3370.400 103.415 3372.000 |
| 103.400 3370.400 103.415 3372.000 |
| 105.000 3372.000 105.015 3373.000 |
| 105.000 3290.400 105.015 3292.000 |
| 105.000 3290.400 105.015 3292.000 |
| 103.400 3292.000 103.415 3293.600 |
| 103.400 3292.000 103.415 3293.600 |
| 105.000 3746.400 105.015 3748.000 |
| 105.000 3746.400 105.015 3748.000 |
| 103.400 3748.000 103.415 3749.600 |
| 103.400 3748.000 103.415 3749.600 |
| 105.000 3600.000 105.015 3601.000 |
| 103.400 3598.400 103.415 3600.000 |
| 103.400 3598.400 103.415 3600.000 |
| 105.000 3600.000 105.015 3601.000 |
| 105.000 3518.400 105.015 3520.000 |
| 105.000 3518.400 105.015 3520.000 |
| 103.400 3520.000 103.415 3521.600 |
| 103.400 3520.000 103.415 3521.600 |
| 105.000 4056.000 105.015 4057.000 |
| 103.400 4054.400 103.415 4056.000 |
| 103.400 4054.400 103.415 4056.000 |
| 105.000 4056.000 105.015 4057.000 |
| 105.000 3974.400 105.015 3976.000 |
| 105.000 3974.400 105.015 3976.000 |
| 103.400 3976.000 103.415 3977.600 |
| 103.400 3976.000 103.415 3977.600 |
| 105.000 3828.000 105.015 3829.000 |
| 103.400 3826.400 103.415 3828.000 |
| 103.400 3826.400 103.415 3828.000 |
| 105.000 3828.000 105.015 3829.000 |
| 105.000 4278.000 105.015 4279.000 |
| 103.400 4276.400 103.415 4278.000 |
| 103.400 4276.400 103.415 4278.000 |
| 105.000 4278.000 105.015 4279.000 |
| 105.000 4201.400 105.015 4203.000 |
| 105.000 4201.400 105.015 4203.000 |
| 103.400 4203.000 103.415 4204.600 |
| 103.400 4203.000 103.415 4204.600 |
| 105.000 4647.400 105.015 4649.000 |
| 105.000 4647.400 105.015 4649.000 |
| 103.400 4649.000 103.415 4650.600 |
| 103.400 4649.000 103.415 4650.600 |
| 105.000 4501.000 105.015 4502.000 |
| 103.400 4499.400 103.415 4501.000 |
| 103.400 4499.400 103.415 4501.000 |
| 105.000 4501.000 105.015 4502.000 |
| 105.000 4424.400 105.015 4426.000 |
| 105.000 4424.400 105.015 4426.000 |
| 103.400 4426.000 103.415 4427.600 |
| 103.400 4426.000 103.415 4427.600 |
| 105.000 4952.000 105.015 4953.000 |
| 103.400 4950.400 103.415 4952.000 |
| 103.400 4950.400 103.415 4952.000 |
| 105.000 4952.000 105.015 4953.000 |
| 105.000 4870.400 105.015 4872.000 |
| 105.000 4870.400 105.015 4872.000 |
| 103.400 4872.000 103.415 4873.600 |
| 103.400 4872.000 103.415 4873.600 |
| 105.000 4724.000 105.015 4725.000 |
| 103.400 4722.400 103.415 4724.000 |
| 103.400 4722.400 103.415 4724.000 |
| 105.000 4724.000 105.015 4725.000 |
| 204.000 5194.985 205.000 5195.000 |
| 204.000 5194.985 205.000 5195.000 |
| 202.400 5196.585 204.000 5196.600 |
| 202.400 5196.585 204.000 5196.600 |
| 105.000 5098.400 105.015 5100.000 |
| 105.000 5098.400 105.015 5100.000 |
| 103.400 5100.000 103.415 5101.600 |
| 103.400 5100.000 103.415 5101.600 |
| 361.000 103.400 362.600 103.415 |
| 361.000 103.400 362.600 103.415 |
| 359.400 105.000 361.000 105.015 |
| 434.400 103.400 436.000 103.415 |
| 434.400 103.400 436.000 103.415 |
| 598.000 103.400 599.600 103.415 |
| 598.000 103.400 599.600 103.415 |
| 436.000 105.000 437.000 105.015 |
| 596.400 105.000 598.000 105.015 |
| 359.400 105.000 361.000 105.015 |
| 436.000 105.000 437.000 105.015 |
| 596.400 105.000 598.000 105.015 |
| 363.000 5194.985 364.000 5195.000 |
| 363.000 5194.985 364.000 5195.000 |
| 444.000 5194.985 445.000 5195.000 |
| 444.000 5194.985 445.000 5195.000 |
| 603.400 5194.985 605.000 5195.000 |
| 603.400 5194.985 605.000 5195.000 |
| 364.000 5196.585 365.600 5196.600 |
| 364.000 5196.585 365.600 5196.600 |
| 442.400 5196.585 444.000 5196.600 |
| 605.000 5196.585 606.600 5196.600 |
| 442.400 5196.585 444.000 5196.600 |
| 605.000 5196.585 606.600 5196.600 |
| 835.000 103.400 836.600 103.415 |
| 835.000 103.400 836.600 103.415 |
| 833.400 105.000 835.000 105.015 |
| 913.400 103.400 915.000 103.415 |
| 913.400 103.400 915.000 103.415 |
| 915.000 105.000 916.000 105.015 |
| 833.400 105.000 835.000 105.015 |
| 915.000 105.000 916.000 105.015 |
| 685.000 5194.985 686.000 5195.000 |
| 685.000 5194.985 686.000 5195.000 |
| 844.000 5194.985 845.000 5195.000 |
| 844.000 5194.985 845.000 5195.000 |
| 925.000 5194.985 926.000 5195.000 |
| 925.000 5194.985 926.000 5195.000 |
| 683.400 5196.585 685.000 5196.600 |
| 845.000 5196.585 846.600 5196.600 |
| 683.400 5196.585 685.000 5196.600 |
| 845.000 5196.585 846.600 5196.600 |
| 923.400 5196.585 925.000 5196.600 |
| 923.400 5196.585 925.000 5196.600 |
| 1077.000 103.400 1078.600 103.415 |
| 1077.000 103.400 1078.600 103.415 |
| 1075.400 105.000 1077.000 105.015 |
| 1150.400 103.400 1152.000 103.415 |
| 1150.400 103.400 1152.000 103.415 |
| 1152.000 105.000 1153.000 105.015 |
| 1075.400 105.000 1077.000 105.015 |
| 1152.000 105.000 1153.000 105.015 |
| 1084.400 5194.985 1086.000 5195.000 |
| 1084.400 5194.985 1086.000 5195.000 |
| 1166.000 5194.985 1167.000 5195.000 |
| 1166.000 5194.985 1167.000 5195.000 |
| 1086.000 5196.585 1087.600 5196.600 |
| 1086.000 5196.585 1087.600 5196.600 |
| 1164.400 5196.585 1166.000 5196.600 |
| 1164.400 5196.585 1166.000 5196.600 |
| 1313.000 103.400 1314.600 103.415 |
| 1313.000 103.400 1314.600 103.415 |
| 1311.400 105.000 1313.000 105.015 |
| 1391.400 103.400 1393.000 103.415 |
| 1391.400 103.400 1393.000 103.415 |
| 1555.000 103.400 1556.600 103.415 |
| 1555.000 103.400 1556.600 103.415 |
| 1393.000 105.000 1394.000 105.015 |
| 1553.400 105.000 1555.000 105.015 |
| 1311.400 105.000 1313.000 105.015 |
| 1393.000 105.000 1394.000 105.015 |
| 1553.400 105.000 1555.000 105.015 |
| 1325.000 5194.985 1326.000 5195.000 |
| 1325.000 5194.985 1326.000 5195.000 |
| 1406.000 5194.985 1407.000 5195.000 |
| 1406.000 5194.985 1407.000 5195.000 |
| 1565.400 5194.985 1567.000 5195.000 |
| 1565.400 5194.985 1567.000 5195.000 |
| 1326.000 5196.585 1327.600 5196.600 |
| 1326.000 5196.585 1327.600 5196.600 |
| 1404.400 5196.585 1406.000 5196.600 |
| 1567.000 5196.585 1568.600 5196.600 |
| 1404.400 5196.585 1406.000 5196.600 |
| 1567.000 5196.585 1568.600 5196.600 |
| 1633.400 103.400 1635.000 103.415 |
| 1633.400 103.400 1635.000 103.415 |
| 1797.000 103.400 1798.600 103.415 |
| 1797.000 103.400 1798.600 103.415 |
| 1635.000 105.000 1636.000 105.015 |
| 1795.400 105.000 1797.000 105.015 |
| 1875.400 103.400 1877.000 103.415 |
| 1875.400 103.400 1877.000 103.415 |
| 1877.000 105.000 1878.000 105.015 |
| 1635.000 105.000 1636.000 105.015 |
| 1795.400 105.000 1797.000 105.015 |
| 1877.000 105.000 1878.000 105.015 |
| 1642.000 5194.985 1643.000 5195.000 |
| 1642.000 5194.985 1643.000 5195.000 |
| 1801.000 5194.985 1802.000 5195.000 |
| 1801.000 5194.985 1802.000 5195.000 |
| 1882.000 5194.985 1883.000 5195.000 |
| 1882.000 5194.985 1883.000 5195.000 |
| 1640.400 5196.585 1642.000 5196.600 |
| 1802.000 5196.585 1803.600 5196.600 |
| 1640.400 5196.585 1642.000 5196.600 |
| 1802.000 5196.585 1803.600 5196.600 |
| 1880.400 5196.585 1882.000 5196.600 |
| 1880.400 5196.585 1882.000 5196.600 |
| 2039.000 103.400 2040.600 103.415 |
| 2039.000 103.400 2040.600 103.415 |
| 2037.400 105.000 2039.000 105.015 |
| 2117.400 103.400 2119.000 103.415 |
| 2117.400 103.400 2119.000 103.415 |
| 2119.000 105.000 2120.000 105.015 |
| 2037.400 105.000 2039.000 105.015 |
| 2119.000 105.000 2120.000 105.015 |
| 2041.400 5194.985 2043.000 5195.000 |
| 2041.400 5194.985 2043.000 5195.000 |
| 2123.000 5194.985 2124.000 5195.000 |
| 2123.000 5194.985 2124.000 5195.000 |
| 2043.000 5196.585 2044.600 5196.600 |
| 2043.000 5196.585 2044.600 5196.600 |
| 2121.400 5196.585 2123.000 5196.600 |
| 2121.400 5196.585 2123.000 5196.600 |
| 2280.000 103.400 2281.600 103.415 |
| 2280.000 103.400 2281.600 103.415 |
| 2278.400 105.000 2280.000 105.015 |
| 2358.400 103.400 2360.000 103.415 |
| 2358.400 103.400 2360.000 103.415 |
| 2360.000 105.000 2361.000 105.015 |
| 2278.400 105.000 2280.000 105.015 |
| 2360.000 105.000 2361.000 105.015 |
| 2282.000 5194.985 2283.000 5195.000 |
| 2282.000 5194.985 2283.000 5195.000 |
| 2363.000 5194.985 2364.000 5195.000 |
| 2363.000 5194.985 2364.000 5195.000 |
| 2283.000 5196.585 2284.600 5196.600 |
| 2283.000 5196.585 2284.600 5196.600 |
| 2361.400 5196.585 2363.000 5196.600 |
| 2361.400 5196.585 2363.000 5196.600 |
| 2522.000 103.400 2523.600 103.415 |
| 2522.000 103.400 2523.600 103.415 |
| 2520.400 105.000 2522.000 105.015 |
| 2595.400 103.400 2597.000 103.415 |
| 2595.400 103.400 2597.000 103.415 |
| 2759.000 103.400 2760.600 103.415 |
| 2759.000 103.400 2760.600 103.415 |
| 2597.000 105.000 2598.000 105.015 |
| 2757.400 105.000 2759.000 105.015 |
| 2520.400 105.000 2522.000 105.015 |
| 2597.000 105.000 2598.000 105.015 |
| 2757.400 105.000 2759.000 105.015 |
| 2522.400 5194.985 2524.000 5195.000 |
| 2522.400 5194.985 2524.000 5195.000 |
| 2599.000 5194.985 2600.000 5195.000 |
| 2599.000 5194.985 2600.000 5195.000 |
| 2758.000 5194.985 2759.000 5195.000 |
| 2758.000 5194.985 2759.000 5195.000 |
| 2524.000 5196.585 2525.600 5196.600 |
| 2524.000 5196.585 2525.600 5196.600 |
| 2597.400 5196.585 2599.000 5196.600 |
| 2759.000 5196.585 2760.600 5196.600 |
| 2597.400 5196.585 2599.000 5196.600 |
| 2759.000 5196.585 2760.600 5196.600 |
| 3096.585 198.400 3096.600 200.000 |
| 3096.585 198.400 3096.600 200.000 |
| 3094.985 200.000 3095.000 201.000 |
| 3094.985 200.000 3095.000 201.000 |
| 2832.400 103.400 2834.000 103.415 |
| 2832.400 103.400 2834.000 103.415 |
| 2996.000 103.400 2997.600 103.415 |
| 2996.000 103.400 2997.600 103.415 |
| 2834.000 105.000 2835.000 105.015 |
| 2994.400 105.000 2996.000 105.015 |
| 2834.000 105.000 2835.000 105.015 |
| 2994.400 105.000 2996.000 105.015 |
| 3096.585 596.000 3096.600 597.600 |
| 3094.985 594.400 3095.000 596.000 |
| 3094.985 594.400 3095.000 596.000 |
| 3096.585 596.000 3096.600 597.600 |
| 3096.585 436.400 3096.600 438.000 |
| 3096.585 436.400 3096.600 438.000 |
| 3094.985 438.000 3095.000 439.000 |
| 3094.985 438.000 3095.000 439.000 |
| 3096.585 358.000 3096.600 359.600 |
| 3094.985 356.400 3095.000 358.000 |
| 3094.985 356.400 3095.000 358.000 |
| 3096.585 358.000 3096.600 359.600 |
| 3096.585 912.400 3096.600 914.000 |
| 3096.585 912.400 3096.600 914.000 |
| 3094.985 914.000 3095.000 915.000 |
| 3094.985 914.000 3095.000 915.000 |
| 3096.585 834.000 3096.600 835.600 |
| 3094.985 832.400 3095.000 834.000 |
| 3094.985 832.400 3095.000 834.000 |
| 3096.585 834.000 3096.600 835.600 |
| 3096.585 674.400 3096.600 676.000 |
| 3096.585 674.400 3096.600 676.000 |
| 3094.985 676.000 3095.000 677.000 |
| 3094.985 676.000 3095.000 677.000 |
| 3096.585 1150.400 3096.600 1152.000 |
| 3096.585 1150.400 3096.600 1152.000 |
| 3094.985 1152.000 3095.000 1153.000 |
| 3094.985 1152.000 3095.000 1153.000 |
| 3096.585 1072.000 3096.600 1073.600 |
| 3094.985 1070.400 3095.000 1072.000 |
| 3094.985 1070.400 3095.000 1072.000 |
| 3096.585 1072.000 3096.600 1073.600 |
| 3096.585 1548.000 3096.600 1549.600 |
| 3094.985 1546.400 3095.000 1548.000 |
| 3094.985 1546.400 3095.000 1548.000 |
| 3096.585 1548.000 3096.600 1549.600 |
| 3096.585 1388.400 3096.600 1390.000 |
| 3096.585 1388.400 3096.600 1390.000 |
| 3094.985 1390.000 3095.000 1391.000 |
| 3094.985 1390.000 3095.000 1391.000 |
| 3096.585 1310.000 3096.600 1311.600 |
| 3094.985 1308.400 3095.000 1310.000 |
| 3094.985 1308.400 3095.000 1310.000 |
| 3096.585 1310.000 3096.600 1311.600 |
| 3096.585 1865.400 3096.600 1867.000 |
| 3096.585 1865.400 3096.600 1867.000 |
| 3094.985 1867.000 3095.000 1868.000 |
| 3094.985 1867.000 3095.000 1868.000 |
| 3096.585 1787.000 3096.600 1788.600 |
| 3094.985 1785.400 3095.000 1787.000 |
| 3094.985 1785.400 3095.000 1787.000 |
| 3096.585 1787.000 3096.600 1788.600 |
| 3096.585 1626.400 3096.600 1628.000 |
| 3096.585 1626.400 3096.600 1628.000 |
| 3094.985 1628.000 3095.000 1629.000 |
| 3094.985 1628.000 3095.000 1629.000 |
| 3096.585 2098.400 3096.600 2100.000 |
| 3096.585 2098.400 3096.600 2100.000 |
| 3094.985 2100.000 3095.000 2101.000 |
| 3094.985 2100.000 3095.000 2101.000 |
| 3096.585 2025.000 3096.600 2026.600 |
| 3094.985 2023.400 3095.000 2025.000 |
| 3094.985 2023.400 3095.000 2025.000 |
| 3096.585 2025.000 3096.600 2026.600 |
| 3096.585 2491.000 3096.600 2492.600 |
| 3094.985 2489.400 3095.000 2491.000 |
| 3094.985 2489.400 3095.000 2491.000 |
| 3096.585 2491.000 3096.600 2492.600 |
| 3096.585 2331.400 3096.600 2333.000 |
| 3096.585 2331.400 3096.600 2333.000 |
| 3094.985 2333.000 3095.000 2334.000 |
| 3094.985 2333.000 3095.000 2334.000 |
| 3096.585 2258.000 3096.600 2259.600 |
| 3094.985 2256.400 3095.000 2258.000 |
| 3094.985 2256.400 3095.000 2258.000 |
| 3096.585 2258.000 3096.600 2259.600 |
| 3096.585 2802.400 3096.600 2804.000 |
| 3096.585 2802.400 3096.600 2804.000 |
| 3094.985 2804.000 3095.000 2805.000 |
| 3094.985 2804.000 3095.000 2805.000 |
| 3096.585 2724.000 3096.600 2725.600 |
| 3094.985 2722.400 3095.000 2724.000 |
| 3094.985 2722.400 3095.000 2724.000 |
| 3096.585 2724.000 3096.600 2725.600 |
| 3096.585 2564.400 3096.600 2566.000 |
| 3096.585 2564.400 3096.600 2566.000 |
| 3094.985 2566.000 3095.000 2567.000 |
| 3094.985 2566.000 3095.000 2567.000 |
| 3096.585 3040.400 3096.600 3042.000 |
| 3096.585 3040.400 3096.600 3042.000 |
| 3094.985 3042.000 3095.000 3043.000 |
| 3094.985 3042.000 3095.000 3043.000 |
| 3096.585 2962.000 3096.600 2963.600 |
| 3094.985 2960.400 3095.000 2962.000 |
| 3094.985 2960.400 3095.000 2962.000 |
| 3096.585 2962.000 3096.600 2963.600 |
| 3096.585 3439.000 3096.600 3440.600 |
| 3094.985 3437.400 3095.000 3439.000 |
| 3094.985 3437.400 3095.000 3439.000 |
| 3096.585 3439.000 3096.600 3440.600 |
| 3096.585 3278.400 3096.600 3280.000 |
| 3096.585 3278.400 3096.600 3280.000 |
| 3094.985 3280.000 3095.000 3281.000 |
| 3094.985 3280.000 3095.000 3281.000 |
| 3096.585 3200.000 3096.600 3201.600 |
| 3094.985 3198.400 3095.000 3200.000 |
| 3094.985 3198.400 3095.000 3200.000 |
| 3096.585 3200.000 3096.600 3201.600 |
| 3096.585 3755.400 3096.600 3757.000 |
| 3096.585 3755.400 3096.600 3757.000 |
| 3094.985 3757.000 3095.000 3758.000 |
| 3094.985 3757.000 3095.000 3758.000 |
| 3096.585 3677.000 3096.600 3678.600 |
| 3094.985 3675.400 3095.000 3677.000 |
| 3094.985 3675.400 3095.000 3677.000 |
| 3096.585 3677.000 3096.600 3678.600 |
| 3096.585 3517.400 3096.600 3519.000 |
| 3096.585 3517.400 3096.600 3519.000 |
| 3094.985 3519.000 3095.000 3520.000 |
| 3094.985 3519.000 3095.000 3520.000 |
| 3096.585 3993.400 3096.600 3995.000 |
| 3096.585 3993.400 3096.600 3995.000 |
| 3094.985 3995.000 3095.000 3996.000 |
| 3094.985 3995.000 3095.000 3996.000 |
| 3096.585 3915.000 3096.600 3916.600 |
| 3094.985 3913.400 3095.000 3915.000 |
| 3094.985 3913.400 3095.000 3915.000 |
| 3096.585 3915.000 3096.600 3916.600 |
| 3096.585 4386.000 3096.600 4387.600 |
| 3094.985 4384.400 3095.000 4386.000 |
| 3094.985 4384.400 3095.000 4386.000 |
| 3096.585 4386.000 3096.600 4387.600 |
| 3096.585 4226.400 3096.600 4228.000 |
| 3096.585 4226.400 3096.600 4228.000 |
| 3094.985 4228.000 3095.000 4229.000 |
| 3094.985 4228.000 3095.000 4229.000 |
| 3096.585 4153.000 3096.600 4154.600 |
| 3094.985 4151.400 3095.000 4153.000 |
| 3094.985 4151.400 3095.000 4153.000 |
| 3096.585 4153.000 3096.600 4154.600 |
| 3096.585 4697.400 3096.600 4699.000 |
| 3096.585 4697.400 3096.600 4699.000 |
| 3094.985 4699.000 3095.000 4700.000 |
| 3094.985 4699.000 3095.000 4700.000 |
| 3096.585 4624.000 3096.600 4625.600 |
| 3094.985 4622.400 3095.000 4624.000 |
| 3094.985 4622.400 3095.000 4624.000 |
| 3096.585 4624.000 3096.600 4625.600 |
| 3096.585 4464.400 3096.600 4466.000 |
| 3096.585 4464.400 3096.600 4466.000 |
| 3094.985 4466.000 3095.000 4467.000 |
| 3094.985 4466.000 3095.000 4467.000 |
| 3096.585 4935.400 3096.600 4937.000 |
| 3096.585 4935.400 3096.600 4937.000 |
| 3094.985 4937.000 3095.000 4938.000 |
| 3094.985 4937.000 3095.000 4938.000 |
| 3096.585 4857.000 3096.600 4858.600 |
| 3094.985 4855.400 3095.000 4857.000 |
| 3094.985 4855.400 3095.000 4857.000 |
| 3096.585 4857.000 3096.600 4858.600 |
| 2839.000 5194.985 2840.000 5195.000 |
| 2839.000 5194.985 2840.000 5195.000 |
| 2998.400 5194.985 3000.000 5195.000 |
| 2998.400 5194.985 3000.000 5195.000 |
| 2837.400 5196.585 2839.000 5196.600 |
| 3000.000 5196.585 3001.600 5196.600 |
| 2837.400 5196.585 2839.000 5196.600 |
| 3000.000 5196.585 3001.600 5196.600 |
| 3096.585 5096.000 3096.600 5097.600 |
| 3094.985 5094.400 3095.000 5096.000 |
| 3094.985 5094.400 3095.000 5096.000 |
| 3096.585 5096.000 3096.600 5097.600 |
| ---------------------------------------- |
| Metal2 width < 0.14um (met2.1) |
| ---------------------------------------- |
| 657.615 196.215 657.755 196.345 |
| 657.615 196.205 657.755 196.215 |
| 658.225 196.205 658.265 196.305 |
| 658.115 196.205 658.125 196.305 |
| 662.180 196.305 662.210 196.355 |
| 662.320 196.425 662.460 196.495 |
| 657.755 195.935 657.855 196.025 |
| 662.305 196.070 662.445 196.095 |
| 662.650 196.095 662.790 196.235 |
| 662.625 195.750 662.650 195.815 |
| 662.995 195.750 663.135 195.890 |
| 644.235 195.245 644.250 195.315 |
| 644.235 195.245 650.340 195.315 |
| 650.640 195.245 657.115 195.315 |
| 643.740 195.100 643.880 195.240 |
| 644.250 195.245 644.390 195.315 |
| 644.345 195.100 644.390 195.195 |
| 644.235 195.100 644.250 195.195 |
| 643.410 194.770 643.550 194.910 |
| 643.880 194.770 643.920 194.845 |
| 643.550 194.640 643.560 194.770 |
| 643.550 194.640 643.680 194.670 |
| 643.280 189.025 643.420 189.055 |
| 643.680 188.835 643.740 189.055 |
| 643.460 188.835 643.600 188.915 |
| 662.525 190.880 662.665 190.940 |
| 662.525 190.800 662.665 190.880 |
| 663.005 190.800 663.035 190.890 |
| 662.525 190.800 662.665 190.820 |
| 662.665 190.750 662.835 190.800 |
| 662.325 190.600 662.465 190.740 |
| 662.695 190.600 662.835 190.680 |
| 662.465 190.270 662.505 190.400 |
| 642.970 184.020 643.005 184.105 |
| 661.590 168.825 661.730 168.910 |
| 661.590 168.770 661.730 168.825 |
| 661.590 168.770 661.730 168.805 |
| 661.730 168.735 661.875 168.770 |
| 661.365 168.545 661.505 168.685 |
| 661.735 168.545 661.875 168.665 |
| 661.505 168.520 661.620 168.545 |
| 661.875 168.520 661.880 168.545 |
| 661.730 168.545 661.875 168.550 |
| 661.600 168.520 661.740 168.545 |
| ---------------------------------------- |
| [INFO]: COUNT: 1241 |
| [INFO]: Should be divided by 3 or 4 |
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