| BEGIN MBB_DEFINITION | |
| S130 | |
| 6 layer process | |
| li 1.3813 | |
| m1 2.1797 | |
| m2 2.9531 | |
| m3 4.6250 | |
| m4 5.9375 | |
| m5 8.3750 | |
| END MBB_DEFINITION | |
| BEGIN VHALO_DEFINITION | |
| li 3 4 5 | |
| m1 4 | |
| m2 | |
| m3 -3 | |
| m4 -4 | |
| m5 -5 -4 | |
| END VHALO_DEFINITION | |
| BEGIN VHALO_VALUES | |
| li 1.3813 1.3453 1.2469 0.0000 0.0000 0.0000 | |
| m1 1.2750 2.1219 2.0344 2.1797 1.1250 0.0000 | |
| m2 1.1953 1.9688 2.7234 2.9531 2.5312 2.2500 | |
| m3 0.0000 1.9688 2.6906 4.4180 4.2188 4.6250 | |
| m4 0.0000 0.5250 2.3625 4.2188 5.8359 5.9375 | |
| m5 0.0000 0.0000 1.8375 4.5000 5.8359 8.3750 | |
| END VHALO_VALUES | |